[发明专利]激光加工头和具有激光加工头的激光加工机

摘要

本发明涉及一种激光加工头(1)，其包括：用于将加工激光射束(3)聚焦到待加工的工件(4)上的聚焦装置(2)——所述聚焦装置布置在加所述工激光射束(3)的加工射束路径(14)中、光学成像装置(5)——所述光学成像装置包括探测器(6)并且构造用于将观察辐射(8)从所述工件(4)的加工区域(9)沿着穿过所述聚焦装置(2)的观察射束路径(10)成像到所述探测器(6)上、以及用于将所述观察辐射(8)的所述观察射束路径(10)与所述加工激光射束(3)的所述加工射束路径(14)分离的分束器(13)。所述激光加工头(1)具有布置在所述分束器(13)与所述探测器(6)之间的所述观察射束路径(10)中的所述光学成像装置(5)的成像光学器件(16)、以及布置在所述成像光学器件(16)与所述探测器(6)之间的与所述探测器(6)间隔开的光圈(15)。所述成像光学器件(16)构造用于在所述分束器(13)与所述工件(4)之间的所述加工激光射束(3)的所述加工射束路径(14)中产生所述光圈(15)的像(15a)。本发明也涉及一种具有这种激光加工头(1)以及具有用于产生加工激光射束(3)的射束源(21)的激光加工机(20)。

主权项

1.一种激光加工头(1)，其包括：聚焦装置(2)，其用于将加工激光射束(3)聚焦到待加工的工件(4)上，所述聚焦装置布置在所述加工激光射束(3)的加工射束路径(14)中，光学成像装置(5)，其包括探测器(6)并且构造用于将观察辐射(8)从所述工件(4)的加工区域(9)沿着穿过所述聚焦装置(2)的观察射束路径(10)成像到所述探测器(6)上，以及分束器(13)，其用于将所述观察辐射(8)的所述观察射束路径(10)与所述加工激光射束(3)的所述加工射束路径(14)分离，其特征在于，所述激光加工头(1)还包括：所述光学成像装置(5)的布置在所述观察射束路径(10)中在所述分束器(13)与所述探测器(6)之间的成像光学器件(16)，以及布置在所述成像光学器件(16)与所述探测器(6)之间的与所述探测器(6)间隔开的光圈(15)，其中，所述成像光学器件(16)构造用于在所述加工激光射束(3)的所述加工射束路径(14)中在所述分束器(13)与所述工件(4)之间产生所述光圈(15)的像(15a)。