[发明专利]压力感测设备有效
| 申请号： | 201680031706.1 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107667279B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | J-C·利欧;E·贝利 | 申请（专利权）人： | 赛峰电子与防务公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/06;G01L19/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 亓云;顾嘉运 |
| 地址： | 法国布洛*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种压力测量设备(1)，包括承载压力传感器(10)的支板(3)，该压力传感器(10)与支板(3)的第一面(4)一起限定第一密封腔体(30)，该压力传感器(10)包括具有相对面(11.1、11.2)的基板(11)，第一可变形膜(15)和第二可变形膜(17)分别在相对面(11.1、11.2)前面延伸，第一膜(15)和第二膜(17)分别与基板一起限定第二密封腔体(31)和第三密封腔体(32)，压力传感器(10)包括盖(21)以用于限定通过第二通道(40)连接至第一腔体(30)的第四密封腔体(33)，压力传感器(10)包括用于测量第一可变形膜(15)和第二可变形膜(17)的变形的装置(12、13、14、16)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 设备 | ||
【主权项】：
1.一种压力测量设备(1)，包括支撑压力传感器(10)的支架(3)，所述压力传感器(10)与所述支架(3)的第一面(4)一起限定第一密封腔体(30)，其中所述支架(3)具有第二面(6)，安装脚(5)从所述第二面(6)突出，第一通道(7)至少延伸到所述脚(5)中以通向所述第一密封腔体(30)，所述压力测量设备(10)包括具有相对面(11.1、11.2)的基板(11)，所述第一可变形膜(15)和所述第二可变形膜(17)分别在所述相对面(11.1、11.2)的对面延伸，所述第一可变形膜(15)和所述第二可变形膜(17)在距所述基板(11)一距离处延伸同时与所述基板(11)一起限定第二密封腔体(31)和第三密封腔体(32)，所述压力传感器(10)包括在所述第二可变形膜(17)的对面延伸以限定第四密封腔体(33)的盖(21)，所述第四密封腔体(33)通过第二通道(40)连接至所述第一密封腔体(30)，所述压力传感器(10)包括用于测量所述第一可变形膜(15)和所述第二可变形膜(17)的变形的装置(12、13、14、16)。
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