[发明专利]光透射性膜的缺陷检查方法、直线偏振片膜的制造方法以及偏振板的制造方法在审
| 申请号： | 201680031369.6 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN107615051A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 佐藤景子;穴见喜久美 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01N21/892;G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一实施方式的光透射性膜的缺陷检查方法中，向具有光透射性的被检查膜(S)照射作为照明光的直线偏振光，利用摄像装置隔着直线偏振板(12B)对被检查膜进行拍摄，由此对作为被检查膜的光透射性膜的缺陷进行检查，直线偏振板(12B)以其吸收轴(A12B)相对于与直线偏振光的振动面正交的方向而交叉的状态配置于被检查膜与摄像装置(13)之间，其中，在向被检查膜照射直线偏振光时，透过被检查膜以及直线偏振板而向摄像装置入射的入射光的最大强度波长与摄像装置的最大灵敏度波长之差为50nm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 缺陷 检查 方法 直线 偏振 制造 以及 | ||
【主权项】：
一种光透射性膜的缺陷检查方法，其中，向具有光透射性的被检查膜照射作为照明光的直线偏振光，利用摄像装置隔着直线偏振板对所述被检查膜进行拍摄，由此检查作为所述被检查膜的光透射性膜的缺陷，其中，所述直线偏振板以该直线偏振板的吸收轴相对于与所述直线偏振光的振动面正交的方向而交叉的状态配置于所述被检查膜与摄像装置之间，所述光透射性膜的缺陷检查方法的特征在于，在向所述被检查膜照射所述直线偏振光时，透过所述被检查膜以及所述直线偏振板而向所述摄像装置入射的入射光的最大强度波长与所述摄像装置的最大灵敏度波长之差为50nm以下。
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