[发明专利]传感器组合件和确定光刻系统的多个反射镜各自的位置的方法有效
| 申请号： | 201680028907.6 | 申请日： | 2016-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN107850849B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | J.霍恩;S.克朗;L.伯杰 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及确定光刻系统(100)的多个反射镜(M1‑M6)各自的位置的传感器组合件，其包括：多个位置传感器装置(140)，其中各个位置传感器装置(140)包括测量单元(201)、光源(203)、检测单元(204)和信号处理单元(207)，其中当由光束照明测量单元时，该测量单元(201)提供反射镜(M1‑M6)的位置的光学位置信号；该光源(203)用光束照明该测量单元(201)；该检测单元(204)具有通过检测提供的光学位置信号来输出模拟电位置信号的多个光检测器(205)；且该信号处理单元(207)具有将所述模拟电位置信号转换为数字电位置信号的至少一个A/D转换器(208)，其中在真空外壳(137)中布置的集成部件中至少提供光源(203)和信号处理单元(207)；以及评价装置(304)，其通过所述数字电位置信号确定反射镜(M1‑M6)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 组合 确定 光刻 系统 反射 各自 位置 方法 | ||
【主权项】：
传感器布置，所述传感器布置确定光刻设备(100)的多个反射镜(M1‑M6)各自的位置，具有：多个位置传感器设备(140)，其中各个所述位置传感器设备(140)包括测量单元(201)、光源(203)、检测单元(204)和信号处理单元(207)，其中所述测量单元在通过光束曝光的情况下，提供反射镜(M1‑M6)的位置的光学位置信号，所述光源以所述光束曝光所述测量单元(201)，所述检测单元具有通过检测所提供的光学位置信号来输出模拟电位置信号的多个光检测器(205)，且所述信号处理单元具有将所述模拟电位置信号转换为数字电位置信号(DP)的至少一个A/D转换器(208)，其中在布置在真空外壳(137)中的集成部件(200)中至少提供所述光源(203)和所述信号处理单元(207)；以及评估设备(304)，所述评估设备通过所述数字电位置信号(DP)确定所述反射镜(M1‑M6)的位置。
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