[发明专利]转换阀有效
| 申请号: | 201680025804.4 | 申请日: | 2016-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN107567558B | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
| 发明(设计)人: | G·施普赖策;M·克普克;T·布尔特曼 | 申请(专利权)人: | 布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司 |
| 主分类号: | F16K3/18 | 分类号: | F16K3/18;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 11326 北京市路盛律师事务所 | 代理人: | 马飞;王桂玲 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于打开和关闭纯净气室的开口、尤其闸门的转换阀(80),其中,开口在闭合位置中通过转换阀的闭锁元件(30)封闭且在打开的位置中被释放。对此规定,至少一个第一致动器和第二致动器间接地或直接地与闭锁元件连接,并且第一致动器联接在闭锁元件上,使得第一致动器抬起闭锁元件以打开开口和/或将闭锁元件安置到开口上以进行闭合,第二致动器联接在闭锁元件上,第二致动器使得闭锁元件横向于开口移动。转换阀实现了在空间需求很小的情况下打开和闭合纯净气室的开口。 | ||
| 搜索关键词: | 转换 | ||
【主权项】:
1.转换阀(80),用于打开和关闭纯净气室(10)的开口(23),其中,所述开口(23)在闭合位置中通过所述转换阀(80)的闭锁元件(30)封闭且在打开的位置中被释放,/n其特征在于,至少一个第一致动器和第二致动器间接地或直接地与所述闭锁元件(30)连接,并且所述第一致动器联接在所述闭锁元件(30)上,使得所述第一致动器抬起所述闭锁元件(30)以打开开口(23)和/或将所述闭锁元件安置到开口上以进行闭合,所述第二致动器联接在所述闭锁元件(30)上,所述第二致动器使得所述闭锁元件(30)横向于开口(23)移动;所述第二致动器至少由引导管(76)和能在所述引导管(76)上直线运动地支承的滑块(73)构成,在所述引导管(76)中布置能直线运动的磁体,且所述磁体与所述滑块(73)磁性联接,至少一个弹簧(42)间接地或直接地联接到所述闭锁元件(30)上,并且所述弹簧(42)将所述闭锁元件(30)压入或拉入闭合位置中。/n
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