[发明专利]可燃气体和蒸汽的平面热催化传感器

摘要

本发明涉及基于热催化工作原理的气体分析和可燃气体与蒸汽分析仪。本发明的主题是传感器，其敏感元件由可以容易自动化的平面技术制造。主要区别特征是活性传感器元件和比较传感器元件共同位于多孔阳极氧化铝的公共基板上的单个微米级结构部件(微芯片)中。传感器元件的设计提供了从活性元件和比较元件的加热部分进行薄膜式热传递。将活性传感器元件和比较传感器元件加热到工作温度并差分测量桥测量电路中的输出信号的微加热测量元件在阳极氧化铝基板的相对侧处间隔开并且设置在突出超过基板的一般形状的臂上。传感器元件设置在具有经校准孔口的限制扩散入口的反应室中，并且微芯片基板的规则孔的直径增加到提供孔中的较优分子扩散模式(100nm或更大)的尺寸。