[发明专利]灵敏度增强的光致抗蚀剂在审
| 申请号： | 201680023321.0 | 申请日： | 2016-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107548473A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;亚历山德拉·麦克莱兰德;托马斯·拉达;约翰·罗斯 | 申请（专利权）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;亚历山德拉·麦克莱兰德;托马斯·拉达;约翰·罗斯 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 牟静芳,郑霞 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及新的正性光致抗蚀剂组合物和负性光致抗蚀剂组合物以及使用这些组合物的方法，该正性光致抗蚀剂组合物和负性光致抗蚀剂组合物包含基于一种或更多种特定金属、金属盐和/或金属络合物的组分。光致抗蚀剂组合物和方法对于使用例如紫外线辐射、极端紫外线辐射、超极端紫外线辐射、X射线、电子束和其他带电荷的颗粒射线的高速的精细图案处理是理想的。金属的特征在于高吸收截面和选择的弹性和非弹性电子截面。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏度 增强 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，包含至少一种金属组分，其中所述金属组分展现出高EUV光吸收截面、中至高非弹性电子散射系数和低至中弹性散射系数。
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