[发明专利]单晶提拉用晶种保持器及使用该装置的硅单晶的制造方法有效
| 申请号： | 201680020784.1 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN107429422B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 川崎荣一 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C04B35/83;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够防止晶种内的应力集中的单晶提拉用晶种保持器以及使用该晶种保持器的安全且可靠性高的硅单晶的制造方法。晶种保持器（1）由碳纤维强化碳复合材料构成，且为具有与大致棒状的晶种（9）的外形相符的形状的空心部（10h）的大致圆筒状部件，至少与晶种（9）的外周面接触的部分的碳纤维（10f）的方向具有周向成分，从空心部（10h）的中心轴（Z）观察时具有各向同性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶提拉用晶种 保持 使用 装置 硅单晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶种保持器，其由碳纤维强化碳复合材料构成，且为具有与大致棒状的晶种的外形相符的形状的空心部的大致圆筒状的单晶提拉用晶种保持器，所述晶种保持器的特征在于，具有：芯部，其碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向同性；及包层部，其碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向异性，所述芯部设置于至少与所述晶种的外周面接触的部分。
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