[发明专利]抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法、及用于其的多酚化合物有效
| 申请号： | 201680018198.3 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN107428717B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 樋田匠;越后雅敏;佐藤隆;清水洋子 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C07D311/92 | 分类号： | C07D311/92;C07B61/00;C08G61/12;G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明为下述通式(1)所示的化合物。 |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 用于 化合物 | ||
【主权项】：
下述通式(1)所示的化合物，上述通式(1)中，X各自独立地表示氧原子、硫原子或无桥接，R1是单键或碳数1～30的2n价基团，R2和R3各自独立地是卤素原子、碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、巯基或羟基，m各自独立地是0～7的整数，但至少一个m是1～7的整数，p各自独立地是0或1，n是1～4的整数，但选自由R1、R2和R3组成的组中的至少一个是含有碘原子的基团，R2中的至少一个和/或R3中的至少一个是选自羟基和巯基中的一种以上。
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