[发明专利]用于检测磨损金属的MEMS实现方式在审
| 申请号： | 201680014241.9 | 申请日： | 2016-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107636432A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | B·杰米森;M·迪克森;S·万弗莱特 | 申请（专利权）人： | 玛斯特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及分析元素，包括机械系统中的金属。因此，本发明允许检测例如润滑剂中的诸如金属的磨损元素，以确定机械系统是否正在恶化，甚至接近故障。本发明涉及一种集成的微机电(MEMS)装置，以及使用该装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 磨损 金属 mems 实现 方式 | ||
【主权项】：
一种集成微机电MEMS击穿光谱装置，用于检测液体中的磨损元素，所述装置包括：a.MEMS基板形状因子；b.与MEMS基板形状因子集成的击穿装置；c.产生等离子体的装置；d.配置为测量由等离子体发射的光的光谱并产生关于磨损元素的数据的光谱仪；以及e.用于发送关于磨损元素的数据的电子器件。
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