[发明专利]基于模型的单个参数测量的系统和方法有效
| 申请号： | 201680014060.6 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN107408519B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | S·I·潘戴夫 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27;G01B11/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中提出用于建置并使用参数隔离模型以使与所关注参数相关联的测量信号信息和与偶发模型参数相关联的测量信号信息隔离的方法及系统。通过以下步骤训练所述参数隔离模型：将与度量目标的例子的第一集合相关联的测量信号映射到与所述度量目标的例子的第二集合相关联的测量信号，所述第一集合具有多个偶发模型参数的已知值及所关注参数的已知值，所述第二集合具有所述多个偶发模型参数的标称值及所述所关注参数的所述已知值。所述经训练参数隔离模型接收原始测量信号且隔离与特定所关注参数相关联的测量信号信息以进行基于模型的参数估计。减少测量模型的浮动参数的数目，从而导致明显减少计算工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 模型 单个 参数 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种测量系统，其包括：度量系统，其经配置以执行晶片上的度量目标的测量并响应于所述测量产生一定量的原始测量信号；及计算系统，其经配置以：接收与由度量系统对所述度量目标的所述测量相关联的所述一定量的原始测量信号；通过将经训练参数隔离模型应用于所述一定量的原始测量信号，确定原始测量信号缩减集合，其中基于以下各者的测量训练所述经训练参数隔离模型：所述度量目标的例子的第一集合，其具有多个偶发模型参数的已知值及所关注参数的已知值；及所述度量目标的例子的第二集合，其具有所述多个偶发参数的标称值及所述所关注参数的所述已知值；及基于所述原始测量信号缩减集合及测量模型，估计所述度量目标的所关注参数的值，其中所述测量模型的所述多个偶发模型参数固定于所述标称值。
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