[发明专利]表面增强拉曼散射元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201680011918.3 | 申请日： | 2016-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN107250772B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 柴山胜己;伊藤将师;大藤和人;大山泰生;丸山芳弘;井上直 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面，设置有沟槽(12)。在导电体层(6)，在沟槽(12)的内表面的至少一部分露出的状态下导电体层(6)被形成于各个柱脚(11)的外表面，从而形成多个间隙(G)。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 增强 散射 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种表面增强拉曼散射元件，其特征在于：具备：基板；细微结构部，被形成于所述基板的表面上并且具有多个凸部；以及导电体层，被形成于所述细微结构部上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部，在所述多个凸部的各个的外表面，设置有凹陷区域，在所述导电体层，在所述凹陷区域的内表面的至少一部分露出的状态下所述导电体层被形成于所述多个凸部的各个的所述外表面，从而形成多个间隙。
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