[发明专利]薄膜晶体管基板、薄膜晶体管基板的制造方法、液晶显示装置有效
| 申请号： | 201680005079.4 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN107112367B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 平野梨伊;中川直纪;村上隆昭;井上和式;小田耕治 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/1343;G02F1/1368;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及构成液晶显示装置的薄膜晶体管基板，具备薄膜晶体管、第一电极、栅极布线以及源极布线，所述薄膜晶体管具有：栅电极；栅极绝缘膜，覆盖栅电极；半导体层，设置于隔着栅极绝缘膜而与栅电极相向的位置；沟道保护膜，覆盖半导体层；保护膜，覆盖沟道保护膜上；以及源电极和漏电极，经由以贯通保护膜及沟道保护膜的方式设置的第一接触孔而与半导体层相接，所述第一电极与漏电极电连接，所述栅极布线从栅电极延伸，所述源极布线与源电极电连接，源极布线和源电极以及第一电极和漏电极分别经由贯通保护膜的第二接触孔而电连接，第一电极和源极布线具有在第一绝缘膜上形成的第一透明导电膜，第一绝缘膜用与沟道保护膜相同的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制造 方法 液晶 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管基板，矩阵状地排列有多个像素，其中，所述多个像素中的各个像素具备薄膜晶体管、第一电极(15)、栅极布线(13)以及源极布线(12)，所述薄膜晶体管具有：栅电极(2)，配设于基板(1)上；栅极绝缘膜(3)，至少覆盖所述栅电极；半导体层(4)，设置于隔着所述栅极绝缘膜与所述栅电极相向的位置；沟道保护膜(5)，至少覆盖所述半导体层上；保护膜(8)，至少覆盖所述沟道保护膜上；以及源电极(16)及漏电极(17)，经由以贯通所述保护膜及所述沟道保护膜的方式设置的第一接触孔(14)而与所述半导体层相接，所述第一电极与所述漏电极电连接，所述栅极布线从所述栅电极延伸，所述源极布线与所述源电极电连接，所述源极布线和所述源电极以及所述第一电极和所述漏电极分别经由以贯通所述保护膜的方式设置的第二接触孔(141)而电连接，所述第一电极以及所述源极布线具有在第一绝缘膜(51)上形成的第一透明导电膜(61)，所述第一绝缘膜用与所述沟道保护膜相同的材料形成。
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