[发明专利]金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法

摘要

更高速地、更高密度且简单地实施金属体的形状检查。本发明的装置具备：测定装置，其对金属体照射至少两种照明光，将反射光相互区分开来进行测定；以及运算处理装置，其根据测定结果来计算在金属体的形状检查中使用的信息。测定装置具有：多个照明光源，分别照射峰值波长不同的带状的照明光；以及多个单色线传感器摄像机，在金属体的表面的铅直上方并排设置，并被设定为由多个单色线传感器摄像机各自具有的移位透镜对金属体的同一部位进行拍摄，并具有带通滤波器，该单色线传感器摄像机的数量与照射的照明光的峰值波长的个数相同。多个照明光源中的至少两个照明光源被配置为金属体表面的法线方向与第一照明光源的光轴所形成的角度同法线方向与第二照明光源的光轴所形成的角度大致相等，在金属体与测定装置的相对移动方向上隔着线传感器摄像机相对置。

主权项

1.一种金属体的形状检查装置，具备：测定装置，其对金属体照射至少两种照明光，将来自所述金属体的同一部位的所述至少两种照明光的反射光相互区分开来进行测定；以及运算处理装置，其对所述测定装置的测定处理进行控制，并根据由所述测定装置得到的所述反射光的亮度值的测定结果，计算在所述金属体的形状检查中使用的信息，其中，所述测定装置具有：多个照明光源，该多个照明光源对所述金属体分别照射峰值波长相互不同的带状的照明光；以及线传感器摄像机群，其包括多个单色线传感器摄像机，所述多个单色线传感器摄像机在所述金属体的表面的铅直上方并排设置，并被设定为由所述多个单色线传感器摄像机各自具有的移位透镜对所述金属体的同一部位进行拍摄，所述单色线传感器摄像机的数量与从所述多个照明光源照射的照明光的峰值波长的个数相同，其中，所述多个照明光源中的至少两个所述照明光源被配置为所述金属体的表面的法线方向与第一照明光源的光轴所形成的第一角度同所述法线方向与第二照明光源的光轴所形成的第二角度的角度差为10度以内，并且所述第一照明光源和所述第二照明光源在所述金属体与所述测定装置的相对移动方向上隔着所述单色线传感器摄像机相对置，在各个所述单色线传感器摄像机中，在该单色线传感器摄像机所具有的摄像元件的前级设置有带通滤波器，各带通滤波器具有与所述多个照明光源中的各不相同的照明光源的峰值波长对应的透射波长范围，在各个所述单色线传感器摄像机中，使来自具有被包含在所述带通滤波器的透射波长范围中的峰值波长的所述照明光源的照明光的反射光成像，所述运算处理装置使用具有使所述第一照明光源的峰值波长以最高的透射率透射的所述带通滤波器的所述单色线传感器摄像机的亮度值与具有使所述第二照明光源的峰值波长以最高的透射率透射的所述带通滤波器的所述单色线传感器摄像机的亮度值之差，计算所述金属体的表面的倾斜度来作为所述信息。