[发明专利]电容式传感器的制作方法和电容式传感装置的制作方法有效
| 申请号： | 201680000682.3 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106415465B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李问杰 | 申请（专利权）人： | 深圳信炜科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种电容式传感器的制作方法和电容式传感装置的制作方法。所述电容式传感器的制作方法，包括：提供一绝缘基板，所述绝缘基板包括第一表面和与所述第一表面相对设置的第二表面；形成多个传感单元在所述绝缘基板的第二表面上；和形成钝化层在所述多个传感单元上。其中，形成所述传感单元的步骤包括：形成感测电极在所述绝缘基板的第二表面上；形成第一绝缘层在所述感测电极上；形成贯穿所述第一绝缘层至感测电极的通孔；和形成传感电路在所述第一绝缘层上，并通过所述通孔与所述感测电极连接。所述钝化层形成在所述传感电路上。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 制作方法 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种电容式传感器的制作方法，包括：提供一绝缘基板，所述绝缘基板包括第一表面和与所述第一表面相对设置的第二表面；形成多个传感单元在所述绝缘基板的第二表面上；和形成钝化层在所述传感单元上；其中，形成所述传感单元的步骤包括：形成感测电极在所述绝缘基板的第二表面上；形成第一绝缘层在所述感测电极上；形成贯穿所述第一绝缘层至感测电极的通孔；和形成传感电路在所述第一绝缘层上，并通过所述通孔与所述感测电极连接；所述钝化层形成在所述传感电路上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳信炜科技有限公司，未经深圳信炜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680000682.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
