[实用新型]高锐度高衍射效率点阵光刻制版用激光器

摘要

本实用新型涉及一种高锐度高衍射效率点阵光刻制版用激光器，其特征在于它主要包括激光发射系统和激光传播系统，激光发射系统主要由半导体激光二极管和衍射光栅组成；激光传播系统包括物镜、1/4波长片、准直透镜、分光棱镜、凹透镜和圆柱透镜组成，由半导体激光二极管出来的激光经过衍射光栅分裂后依次经过分光棱镜、准直透镜、1/4波长片和物镜后汇聚到需要光刻的制版上，由光刻制版反射回来的激光再经过1/4波长片、准直透镜和分光棱镜，在分光棱镜的作用下将激光向另一个方向经过凹透镜和圆柱透镜后送往光敏监测器进行光信号检测。本实用新型的曝光时间短，从而极大降低外界对制版系统的干扰，完成锐度更佳，衍射效率更高的点阵光刻制版，同时制版周期大大缩短。

主权项

一种高锐度高衍射效率点阵光刻制版用激光器，其特征在于：它主要包括激光发射系统和激光传播系统，激光发射系统主要由半导体激光二极管和衍射光栅组成；激光传播系统包括物镜、1/4波长片、准直透镜、分光棱镜、凹透镜和圆柱透镜组成，由半导体激光二极管出来的激光经过衍射光栅分裂后依次经过分光棱镜、准直透镜、1/4波长片和物镜后汇聚到需要光刻的制版上，由光刻制版反射回来的激光再经过1/4波长片、准直透镜和分光棱镜，在分光棱镜的作用下将激光向另一个方向经过凹透镜和圆柱透镜后送往光敏监测器进行光信号检测。