[实用新型]一种药液喷嘴的清洗装置及清洗平台有效
| 申请号： | 201621468644.4 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206631830U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张美纯 | 申请（专利权）人： | 东莞市鑫悦净化科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种药液喷嘴的清洗装置及清洗平台，包括清洗平台和固定安装在清洗平台上的清洗装置，所述清洗装置包括内部为中空结构的清洗箱，所述清洗箱的内腔壁两侧设置有高压喷嘴，所述清洗箱的外侧壁底部设有清洗电机，所述清洗箱的内腔底部设有旋转毛刷，所述清洗电机的传动轴贯穿清洗箱且与旋转毛刷的一端固定连接，该药液喷嘴的清洗装置及清洗平台，通过电机驱动药液喷嘴移动至清洗箱内，对药液喷嘴进行刷洗和高压喷洗，可有效去除药液喷嘴上残留的药液结晶，减少药液喷嘴移动过程中或生产过程中药液结晶掉落在晶片表面的可能，保证机台的工作环境，提高了晶片的质量，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 药液 喷嘴 清洗 装置 平台 | ||
【主权项】：
一种药液喷嘴的清洗装置及清洗平台，包括清洗平台(1)和固定安装在清洗平台(1)上的清洗装置(2)，其特征在于：所述清洗装置(2)包括内部为中空结构的清洗箱(21)，所述清洗箱(21)的内腔壁两侧设置有高压喷嘴(22)，所述清洗平台(1)的一侧设有清洗液存储箱(3)和气泵(4)，所述清洗液存储箱(3)上设有供液泵(5)，所述供液泵(5)和气泵(4)分别通过管路连接于高压喷嘴(22)，所述清洗箱(21)的外侧壁底部设有清洗电机(23)，所述清洗箱(21)的内腔底部设有旋转毛刷(24)，所述清洗电机(23)的传动轴贯穿清洗箱(21)且与旋转毛刷(24)的一端固定连接。
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