[实用新型]一种电致发光缺陷检测仪的空间分辨力测试板有效
| 申请号： | 201621424511.7 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206270007U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 林剑春;杨爱军;李杰;沈熠辉;沈怿珩 | 申请（专利权）人： | 福建省计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;H02S50/15 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙)35212 | 代理人： | 林晓琴 |
| 地址： | 350001 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电致发光缺陷检测仪空间分辨力测试板，所述空间分辨力测试板上分布有复数个检测方块组，每一所述检测方块组包括复数个具有不同线对条纹宽度的检测方块，每一所述检测方块由复数个黑白间隔的线对条纹组成，不同所述检测方块组内线对条纹的方向不同，同一所述检测方块组内线对条纹的方向相同，每一个线对条纹内黑白条纹的宽度一样，所述空间分辨力测试板具有近红外光可穿透性。本实用新型可实现对电致发光缺陷检测仪的空间分辨力进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电致发光 缺陷 检测 空间 分辨力 测试 | ||
【主权项】：
一种电致发光缺陷检测仪的空间分辨力测试板，其特征在于：所述空间分辨力测试板上分布有复数个检测方块组，每一所述检测方块组包括复数个具有不同线对条纹宽度的检测方块，每一所述检测方块由复数个黑白间隔的线对条纹组成，不同所述检测方块组内线对条纹的方向不同，同一所述检测方块组内线对条纹的方向相同，每一个线对条纹内黑白条纹的宽度一样，所述空间分辨力测试板具有近红外光可穿透性。
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