[实用新型]一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统

摘要

本实用新型提供了一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统脉冲激光器发出的激光经过第一1/2波片后由第一偏振分光棱镜分为两束；激光束一平行通过第一偏振分光棱镜继续传输，依次经过激光倍频模块、短波通滤光片、激光调制器、短波反射镜后到达冷光镜，其中激光调制器与信号发生器连接；激光束二依次经过长波反射镜、直角反射镜、第二1/2波片、第二偏振分光棱镜、1/4波片后到达冷光镜；激光束一与激光束二汇合后经过物镜到达样品固定架，其中样品固定架固定于三维电动移动台上，三维电动移动台与伺服电机控制器连接；激光束二经过样品反射后依次通过物镜、冷光镜、1/4波片、第二偏振分光棱镜后由凸透镜聚焦至光电探测器。

主权项

一种基于抽运探测热反射技术的热导率扫描系统，其特征在于：脉冲激光器发出的激光经过第一1/2波片后由第一偏振分光棱镜分为两束，分别为激光束一和激光束二；激光束一平行通过第一偏振分光棱镜继续传输，依次经过激光倍频模块、短波通滤光片、激光调制器、短波反射镜后到达冷光镜，其中激光调制器与信号发生器连接；激光束二依次经过长波反射镜、直角反射镜、第二1/2波片、第二偏振分光棱镜、1/4波片后到达冷光镜；激光束一与激光束二汇合后经过物镜到达样品固定架，其中样品固定架固定于三维电动移动台上，三维电动移动台与伺服电机控制器连接，伺服电机控制器与计算机连接；激光束二经过样品反射后依次通过物镜、冷光镜、1/4波片、第二偏振分光棱镜后由凸透镜聚焦至光电探测器，光电探测器与锁相放大器连接，锁相放大器与计算机连接。