[实用新型]一种板式PECVD用石墨载板有效
| 申请号： | 201621373565.5 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN206312876U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 徐少杰 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹,王婧 |
| 地址： | 314500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种板式PECVD用石墨载板，其特征在于，包括石墨载板本体，石墨载板本体上设有多个石墨框，石墨框中固定有至少一个石墨条。本实用新型在不改变机器的情况下，在生产一边边长小于156mm规格的硅片时，可达到或接近和做156mm*156mm规格的硅片一样的镀膜效果，减少或不影响外观质量和效率损耗，如做156mm*150mm规格的片子时装上本实用新型后，可达到硅片与载板石墨框边缘间隙与目前使用的160mm*160mm载板石墨框做156mm*156mm规格的片子一样的效果。本实用新型是在原有载板石墨框上装载，并可拆卸，拆卸后不影响原载板正常使用，装载后可减少或不影响做一边边长小于156mm规格的硅片时外观质量和效率损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 石墨 | ||
【主权项】：
一种板式PECVD用石墨载板，其特征在于，包括石墨载板本体(1)，石墨载板本体(1)上设有多个石墨框(2)，石墨框(2)中固定有至少一个石墨条(3)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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