[实用新型]一种团簇离子束纳米加工设备控制装置有效
| 申请号： | 201621372703.8 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN206635024U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 李应高;杨光永 | 申请（专利权）人： | 佛山旋疯纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01J37/252;B82Y40/00;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377 | 代理人： | 陈志超,陶品德 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接。本实用新型提供的团簇离子束纳米加工设备控制装置实现了纳米团簇粒径的一致性和稳定性，最大限度地减少组份偏差和物相污染，大幅度地提高了系统的动态响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 纳米 加工 设备 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种团簇离子束纳米加工设备控制装置，其特征在于，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接；所述过程控制模块用于调控加工设备的温度、压力以及空气流量等参数；所述数据采集模块用于实时采集物料粒径数据，包括与系统控制板电连接的纳米团簇粒径实时检测传感器；所述纳米加工控制模块用于控制纳米加工工序；所述物料输送模块用于进料和出料管理。
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