[实用新型]一种团簇离子束纳米加工装置有效
| 申请号： | 201621371323.2 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN206635023U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 李应高;杨光永 | 申请（专利权）人： | 佛山旋疯纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01J37/252 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377 | 代理人： | 陈志超,陶品德 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种团簇离子束纳米加工装置，包括离子束偏转电路、两级加速腔以及系统控制板；所述两级加速腔内环绕设置有偏转线圈以及对应设置的磁环，所述离子束偏转电路分别与偏转线圈和系统控制板电连接，所述两级加速腔前端设有分离孔，后端设有对撞孔，所述两级加速腔内设有正向环形通道和逆向环形通道，所述正向环形通道和逆向环形通道分别在分离孔和对撞孔处相交，所述两级加速腔内还设有与系统控制板电连接的两级加速电路，所述两级加速电路为分段串接的升压电路。本实用新型提供的团簇离子束纳米加工装置，利用团簇离子束的偏转、加速和对撞，实现对纳米材料的加工，最大限度地减少组份偏差和物相污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 纳米 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种团簇离子束纳米加工装置，其特征在于，包括离子束偏转电路、两级加速腔以及系统控制板；所述两级加速腔内环绕设置有偏转线圈以及对应设置的磁环，所述离子束偏转电路分别与所述偏转线圈和系统控制板电连接，向偏转线圈提供锯齿波电流，产生径向、线性偏转磁场，所述两级加速腔前端设有分离孔，后端设有对撞孔，所述两级加速腔内设有正向环形通道和逆向环形通道，所述正向环形通道和逆向环形通道分别在所述分离孔和所述对撞孔处相交，所述两级加速腔内还设有与所述系统控制板电连接的两级加速电路，所述两级加速电路为分段串接的升压电路。
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