[实用新型]一种往返性动作测试机构有效
| 申请号: | 201621308392.9 | 申请日: | 2016-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN206470360U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
| 发明(设计)人: | 何选民;段雄斌;李清 | 申请(专利权)人: | 深圳市标谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙)44297 | 代理人: | 胡清方,彭友华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种往返性动作测试机构,包括底座,所述底座上设有互相垂直的X轴驱动单元和Y轴驱动单元、通过连接板设置在X轴驱动单元和Y轴驱动单元上方的Z轴驱动单元,以及由Z轴驱动单元驱动的探针检测组件,所述Z轴驱动单元垂直于X轴驱动单元和Y轴驱动单元,所述探针检测组件包括探针固定件、数根探针,以及供探针固定件移动的滑轨,数根所述探针的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合;所述Z轴驱动单元工作时,带动探针沿滑轨移动从而接触或者远离待测试样品。因此,本实用新型具有适合于微小材料的LED芯片测试的、测试精度较高、运行更加稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 往返 动作 测试 机构 | ||
【主权项】:
一种往返性动作测试机构,包括底座(100),其特征在于,所述底座(100)上设有互相垂直的X轴驱动单元和Y轴驱动单元、通过连接板(5)设置在X轴驱动单元和Y轴驱动单元上方的Z轴驱动单元(3),以及由Z轴驱动单元(3)驱动的探针检测组件(4),所述Z轴驱动单元(3)垂直于X轴驱动单元和Y轴驱动单元,所述探针检测组件(4)包括探针固定件(42)、数根探针(41),以及供探针固定件(42)移动的滑轨(43),数根所述探针(41)的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合;所述Z轴驱动单元(3)工作时,带动探针(41)沿滑轨(43)移动从而接触或者远离待测试样品。
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