[实用新型]一种瞬态抑制电压二极管器件有效

专利信息
申请号: 201621300136.5 申请日: 2016-11-30
公开(公告)号: CN206340551U 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 张鹏;许志峰;李建新 申请(专利权)人: 启东吉莱电子有限公司
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H01L29/06
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司32243 代理人: 卢海洋
地址: 226200 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种瞬态抑制电压二极管器件,包括N型衬底、第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层,N型衬底正面和背面的中央对称刻蚀有P‑型反型层,P‑型反型层上刻蚀有P+型浅结区,第一氧化层形成于N型衬底的表面并覆盖部分P‑型反型层,第二氧化层形成于第一氧化层的表面,第三氧化层形成于P‑型反型层的表面并覆盖部分P+型浅结区,P+型浅结区的表面刻蚀有金属化电极,金属化电极的宽度范围延伸至第二氧化层。本实用新型采用P+P‑N型结合三层氧化层的结构,能在相对宽的硅片电阻率范围内,在保证浪涌能力不变的前提下实现相同的电压范围。
搜索关键词: 一种 瞬态 抑制 电压 二极管 器件
【主权项】:
一种瞬态抑制电压二极管器件,其特征在于:包括N型衬底、第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层,所述N型衬底正面和背面的中央对称刻蚀有P‑型反型层,所述P‑型反型层上刻蚀有P+型浅结区,所述P+型浅结区的深度和宽度均不超过P‑型反型层的深度和宽度,所述第一氧化层形成于N型衬底的表面并覆盖部分P‑型反型层,所述第二氧化层形成于第一氧化层的表面,所述第三氧化层形成于P‑型反型层的表面并覆盖部分P+型浅结区,所述P+型浅结区的表面刻蚀有金属化电极,所述金属化电极的宽度范围延伸至第二氧化层。
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