[实用新型]一种瞬态抑制电压二极管器件有效
申请号: | 201621300136.5 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206340551U | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 张鹏;许志峰;李建新 | 申请(专利权)人: | 启东吉莱电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人: | 卢海洋 |
地址: | 226200 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种瞬态抑制电压二极管器件,包括N型衬底、第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层,N型衬底正面和背面的中央对称刻蚀有P‑型反型层,P‑型反型层上刻蚀有P+型浅结区,第一氧化层形成于N型衬底的表面并覆盖部分P‑型反型层,第二氧化层形成于第一氧化层的表面,第三氧化层形成于P‑型反型层的表面并覆盖部分P+型浅结区,P+型浅结区的表面刻蚀有金属化电极,金属化电极的宽度范围延伸至第二氧化层。本实用新型采用P+P‑N型结合三层氧化层的结构,能在相对宽的硅片电阻率范围内,在保证浪涌能力不变的前提下实现相同的电压范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 瞬态 抑制 电压 二极管 器件 | ||
【主权项】:
一种瞬态抑制电压二极管器件,其特征在于:包括N型衬底、第一氧化层、第二氧化层和第三氧化层,所述N型衬底正面和背面的中央对称刻蚀有P‑型反型层,所述P‑型反型层上刻蚀有P+型浅结区,所述P+型浅结区的深度和宽度均不超过P‑型反型层的深度和宽度,所述第一氧化层形成于N型衬底的表面并覆盖部分P‑型反型层,所述第二氧化层形成于第一氧化层的表面,所述第三氧化层形成于P‑型反型层的表面并覆盖部分P+型浅结区,所述P+型浅结区的表面刻蚀有金属化电极,所述金属化电极的宽度范围延伸至第二氧化层。
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