[实用新型]一种硅太阳能生产用硅片高效清洗设备有效
申请号: | 201621279753.1 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN206259322U | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 姚屏 | 申请(专利权)人: | 广东技术师范学院 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510635 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片清洗设备,尤其涉及一种硅太阳能生产用硅片高效清洗设备。本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗效果佳、清洗速度快、工作量小的硅太阳能生产用硅片高效清洗设备。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种硅太阳能生产用硅片高效清洗设备,包括有镂空清洗箱、合页、箱盖、气缸、第一导杆、第一导套、电机、第二导杆、第二导套、顶板、移动框、支架等;底板顶部左端焊接有左架,左架右侧下部焊接有固定板,固定板顶部通过螺栓连接的方式连接有水箱。本实用新型达到了清洗效果佳、清洗速度快、工作量小的效果,且本设备发挥的重要作用不仅有良好的清洗效果,还提高了工作效率,安全性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 生产 硅片 高效 清洗 设备 | ||
【主权项】:
一种硅太阳能生产用硅片高效清洗设备,其特征在于,包括有镂空清洗箱(1)、合页(2)、箱盖(3)、气缸(4)、第一导杆(5)、第一导套(6)、电机(7)、第二导杆(8)、第二导套(9)、顶板(10)、移动框(11)、支架(12)、转杆(13)、水箱(14)、固定板(15)、左架(16)、水泵(17)、软管(18)、清洗框(19)、底板(20)、出水管(21)、阀门(22)和右架(23),底板(20)顶部左端焊接有左架(16),左架(16)右侧下部焊接有固定板(15),固定板(15)顶部通过螺栓连接的方式连接有水箱(14),水箱(14)内底部中间通过螺栓连接的方式连接有水泵(17),水泵(17)上通过法兰连接的方式连接有软管(18),底板(20)顶部右侧放置有清洗框(19),软管(18)的出水口位于清洗框(19)上方,清洗框(19)右壁下部焊接有出水管(21),出水管(21)上设有阀门(22),底板(20)顶部右端焊接有右架(23),左架(16)和右架(23)顶部焊接有顶板(10),顶板(10)底部从左至右依次焊接有第二导套(9)、支架(12)和第一导套(6),第二导套(9)内滑动式设有第二导杆(8),第一导套(6)内滑动式设有第一导杆(5),第二导杆(8)与第一导杆(5)之间焊接有移动框(11),支架(12)底端通过螺栓连接的方式固定连接有电机(7),电机(7)的输出轴上均匀间隔的焊接有转杆(13),转杆(13)与移动框(11)配合,移动框(11)底部中间通过螺栓连接的方式连接有气缸(4),气缸(4)底端通过螺栓连接的方式连接有镂空清洗箱(1),镂空清洗箱(1)右壁顶端通过螺钉连接的方式连接有合页(2),合页(2)上通过螺钉连接的方式连接有箱盖(3),镂空清洗箱(1)位于清洗框(19)正上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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