[实用新型]一种新型半熔法多晶硅铸锭用保温装置

摘要

本实用新型公开了一种新型半熔法多晶硅铸锭用保温装置，它为一用于安装在多晶硅铸锭炉内底部保温板上的框体，框体采用保温材料制成，框体位于保温板的中部，且框体的中轴线和保温板的中轴线位于同一直线上，框体处于用于承托坩埚的热交换块的正下方，热交换块的支柱位于框体内，坩埚的投影线从上方射向下方的正投影区域被围括在框体中。本实用新型可提高硅锭质量和产量，而且可以连续使用，操作方便，降低了材料的损耗和工时。使用本实用新型不会影响热场中其他部件的完整性，不存在安全性风险，不使用时可方便移除，便于不同铸锭工艺的切换，也可与其他籽晶保护方案同时应用。对于提高半熔法多晶硅铸锭产品质量、降低成本具有重要意义。

主权项

一种新型半熔法多晶硅铸锭用保温装置，其特征在于：它为一用于安装在多晶硅铸锭炉内底部保温板上的框体，所述框体采用保温材料制成，所述框体位于保温板的中部，且所述框体的中轴线和保温板的中轴线位于同一直线上，所述框体处于用于承托坩埚的热交换块的正下方，热交换块的支柱位于所述框体内，所述坩埚的投影线从上方射向下方的正投影区域被围括在所述框体中。