[实用新型]改进的显影机喷嘴有效
| 申请号: | 201621237654.7 | 申请日: | 2016-11-18 |
| 公开(公告)号: | CN206258667U | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
| 发明(设计)人: | 李亚明;彭建中;张良;肖林峰;李海丽;张伟伟;丁左勇;熊谟勇;张楠 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人: | 沈根水 |
| 地址: | 210033 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及的是一种改进的显影机喷嘴Slit NOZZLER,其结构是在其进液管路上增加一个三通阀,增加一路接上CDA气体,并且该CDA气体压力可调。优点1)在发生显影机喷嘴SLIT NOZZLER因异物导致其堵塞分叉时可以使用CDA高压气体对其实施吹扫作业,高压气体可以将异物吹出达到其清洁效果,这也可以有效改善现有的疏通困难;2)实现成本较低,可以有效提高产线稼动率及避免显影机喷嘴SLIT NOZZLER损伤的发生;3)可以改善使用塞规实施疏通的耗时,可克服塞规容易变形,疏通比较困难,且如果用力过大容易造成塞规折断或其NIZZLER损伤情况的发生;4)改造成本低,使用方便。 | ||
| 搜索关键词: | 改进 显影 喷嘴 | ||
【主权项】:
改进的显影机喷嘴,其特征是在其进液管路上有一个三通阀,有一路是接上CDA气体的, 并且该CDA气体的压力是可调的。
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