[实用新型]一种PLC晶圆组件

摘要

本实用新型公开一种PLC晶圆组件，至少包括晶圆校准件、晶圆以及定位夹，所述晶圆校准件还包含晶圆凹槽以及晶圆十字定位心，所述晶圆凹槽为设置在所述晶圆校准件中心的与所述晶圆相对应的凹槽，所述晶圆十字定位心设置在所述晶圆凹槽中心，所述晶圆位于所述晶圆凹槽内，所述定位夹为矩形框结构，且所述定位夹四个角设有固定钮，所述晶圆校准件固定在所述定位夹下，所述晶圆校准件为菱形切掉四个等腰三角的形状，且所述晶圆校准件两对对称切掉的等角三角形之间的距离等于定位夹的长、宽，即a=b，c=d；该PLC晶圆组件保证晶圆放置在晶圆校准件的准确位置，不会出现定位不准使得定位夹夹坏晶圆的现象，进而使得晶圆在加工的过程中，相对稳定，提高了产品的生产合格率。

主权项

一种PLC晶圆组件，至少包括晶圆校准件(1)、晶圆(2)以及定位夹(3)，其特征在于：所述晶圆校准件(1)还包含晶圆凹槽(11)以及晶圆十字定位心(12)，所述晶圆凹槽(11)为设置在所述晶圆校准件(1)中心的与所述晶圆(2)相对应的凹槽，所述晶圆十字定位心(12)设置在所述晶圆凹槽(11)中心，所述晶圆(2)位于所述晶圆凹槽(11)内，所述定位夹(3)为矩形框结构，且所述定位夹(3)四个角设有固定钮(31)，所述晶圆校准件(1)固定在所述定位夹(3)下。