[实用新型]一种直写式丝网制版设备

摘要

本实用新型公开了一种直写式丝网制版设备，系统包括主机、运动系统、光源驱动控制器、光源、可编程数据控制器、空间光调制器、主动聚焦模块、光学镜头、位置误差修正模块以及通信模块。本实用新型的直写式丝网制版设备，制版过程不需要菲林，成本低、工序简单、图像精度高，可适用于制作超大网板；本实用新型采用面阵式空间光调制器进行直写式制版，加工精细度高、控制难度小，产能高。本实用新型还实现了主动聚焦功能，有效避免因网板不平导致离焦进而导致图形模糊或曝光不充分等问题。此外，本实用新型还引入了位置误差修正模块，有效克服了对高精度平台依赖的问题，降低了生产成本。

主权项

一种直写式丝网制版设备，用于丝网制版过程中在网板上进行图形曝光，其特征在于：包括主机(1)、运动系统(2)、光源驱动控制器(3)、光源(4)、可编程数据控制器(5)、空间光调制器(6)、主动聚焦模块(7)、光学镜头(8)、位置误差修正模块(9)以及通信模块(10)；所述运动系统(2)由步进平台(2‑1)、扫描平台(2‑2)以及平台驱动器(2‑3)组成，其中平台驱动器(2‑3)与主机(1)相连并驱动步进平台(2‑1)和扫描平台(2‑2)运动；所述光源驱动控制器(3)控制所述光源(4)的开关状态以及光强；所述可编程数据控制器(5)与主机(1)直接相连，在主机(1)的控制下驱动空间光调制器(6)完成曝光任务；所述主动聚焦模块(7)控制光学镜头(8)与网板间的距离；所述位置误差修正模块(9)接收扫描平台(2‑2)发出的实时位置信号，对实时位置信号进行修正得到精确位置信号，并将精确位置信号输出至可编程数据控制器(5)；所述通信模块(10)上行与主机(1)相连，下行与光源驱动控制器(3)以及主动聚焦模块(7)分别相连。