[实用新型]无篮式硅片清洗机械手有效
| 申请号： | 201621195488.9 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN206168861U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 马胜南;轩云喜 | 申请（专利权）人： | 北京南轩兴达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B25J11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种无篮式硅片清洗机械手，属于硅片清洗设备领域。包括用于驱动手抓侧臂相对转动的夹紧驱动部，手抓侧臂铰接在纵向移动架上，手抓侧臂底部设有固定件，固定件上开有若干用于卡住硅片的固定槽。本方案通过石英制成的固定件来夹紧固定硅片，使得硅片在清洗过程中更加充分的与清洗液相接触，且石英制成的固定件极难与酸或碱溶液反应，从而不易污染清洗液，并且大大节约了制造成本。且在进行夹取硅片时，减少了人工将硅片插入花篮的步骤，大大减少了工作时间，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 无篮式 硅片 清洗 机械手 | ||
【主权项】：
一种无篮式硅片清洗机械手，包括安装台（1）和设于安装台（1）上并可沿安装台（1）横向移动的安装架（2），所述安装架（2）包括连接所述安装台（1）的横向移动架（21），还包括可沿所述横向移动架（21）纵向移动的纵向移动架（22），所述纵向移动架（22）上设有机械手（3），所述机械手（3）包括相对设置的两个手抓侧臂（31），其特征是：还包括用于驱动所述手抓侧臂（31）相对转动的驱动部（32），所述手抓侧臂（31）铰接在所述纵向移动架（22）上，所述手抓侧臂（31）底部设有固定件（33），所述固定件（33）上开有若干用于卡住硅片（4）的固定槽（34）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京南轩兴达电子科技有限公司，未经北京南轩兴达电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621195488.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
