[实用新型]一种喷淋式蚀刻机

摘要

本实用新型涉及一种TFT‑LCD加工设备，尤其是一种喷淋式蚀刻机，包括依次连接的蚀刻段和清洗段，所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器和蚀刻喷淋装置，所述清洗段包括第六辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，通过吹尘、蚀刻、吹尘、喷淋、超纯水喷淋以及风刀吹干，在保证蚀刻效果的同时还保证了出品干净。

主权项

一种喷淋式蚀刻机，其特征在于：它包括依次连接的蚀刻段和清洗段，两者均安装在同一个设有防水槽的机架上；所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一吹尘器包括风泵和两个喷嘴，所述风泵通过两个带有手阀的管道连接两个喷嘴，这两个喷嘴分别安装在第一辊道的上下方且对嘴设置，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器、温度传感器、加热器和蚀刻喷淋装置，该药液箱内设有磁力泵、液位传感器、温度传感器和加热器，该磁力泵通过带有手阀的管道连接蚀刻喷淋装置，该蚀刻喷淋装置对应的防水槽设有连通药液箱的回液管，该回液管还连接有排液管，回液管和排液管上均设有手阀，便于选择药液回药液箱或者是排出蚀刻机外；所述第二蚀刻部包括第二辊道、第二药液循环系统，第二药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第三蚀刻部包括第三辊道、第三药液循环系统，第三药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第四蚀刻部包括第四辊道、第四药液循环系统，第四药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第五蚀刻部包括第五辊道、第五药液循环系统和第二吹尘器，所述第二吹尘器安装在第五辊道的出料端，所述第五药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第一蚀刻部的进料处和第五蚀刻部的出料处均设有防腐蚀隔离板，所述防腐蚀隔离板设有便于工件和辊道通过的缺口；所述清洗段包括第六辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第六辊道依次安装有第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统之间的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一喷淋系统包括设有补水口和溢流口的水箱、水泵和带有压力表的喷管，水箱内设有水泵，该水泵通过两根带有手阀的管道连接两根喷管，这两根喷管分别设置在第六辊道上下方，所述超纯水喷淋系统包括DI水进水管、电磁阀、流量计和喷管，所述DI水进水管通过管道连接喷管，该管道上依次设有电磁阀和流量计，所述第一风刀系统和第二风刀系统的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一风刀系统包括风泵、设置在第六辊道上下方的上下风刀，所述风泵通过两根带有手阀的管道连通上下风刀。