[实用新型]玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统有效
申请号: | 201621141944.1 | 申请日: | 2016-10-20 |
公开(公告)号: | CN206074471U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 林海峰;李兆廷;董光明;方红义;石志强;李震;李俊生 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 陈庆超,桑传标 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统,其中玻璃基板表面缺陷的查看装置包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的光源,所述相机可拆卸地连接在所述目镜外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板表面缺陷的图像。通过上述技术方案,在暗场环境下,光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地对玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 表面 缺陷 查看 装置 系统 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,包括相机(9)、放大镜筒体和支撑罩(8),所述放大镜筒体具有目镜(1)和物镜(7),所述支撑罩(8)围绕所述物镜(7)并用于罩设在所述玻璃基板(11)上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜(7)发射光线的光源(5),所述相机(9)连接在所述目镜(1)外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板(11)表面缺陷的图像。
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