[实用新型]一种用于MEMS微结构动态特性测试的高温环境加载装置有效
| 申请号： | 201621124703.6 | 申请日： | 2016-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN206074210U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;杨一柳;魏泽飞;于震;赵玉峰 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的高温环境加载装置，包括外腔体，在外腔体内底面设有电机安装座和支撑套，电机安装座位于支撑套内的中心处，在支撑套上端圆周均布插入有多个电加热棒，在支撑套顶面中心孔内通过十字弹簧片安装有MEMS微结构；在电机安装座内吊装有直线步进电机，直线步进电机的输出轴由电机安装座穿出并与丝杠同轴连接，在丝杠上通过螺纹连接移动套筒，在移动套筒顶面设有压电陶瓷，移动套筒升起后可将压电陶瓷顶在十字弹簧片的底面。有益效果是避免了压电陶瓷与热源长时间直接接触，能够使压电陶瓷的温度被控制在其居里温度之下，解决了在高温环境下对MEMS微结构激励的难题，可在高温环境下实现对MEMS微结构的激振。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 微结构 动态 特性 测试 高温 环境 加载 装置 | ||
【主权项】：
一种用于MEMS微结构动态特性测试的高温环境加载装置，其特征是：它有一个密闭的外腔体，在外腔体内底面安装有电机安装座和支撑套，电机安装座位于支撑套内的中心处，在支撑套上端圆周均布插入有多个电加热棒，在支撑套顶面的中心孔内安装有十字弹簧片，在十字弹簧片上安装有MEMS微结构；在电机安装座内吊装有直线步进电机，直线步进电机的输出轴由电机安装座穿出并与丝杠同轴连接，在丝杠上通过螺纹连接移动套筒，在移动套筒顶面设有压电陶瓷，移动套筒升起后可将压电陶瓷顶在十字弹簧片的底面。
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