[实用新型]具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器有效
| 申请号： | 201621119950.7 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN206282868U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘福浩;杨晓阳;贾嘉;蒋科;罗毅;刘诗嘉;孙晓宇;李向阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/09 | 分类号： | H01L31/09;H01L31/032;H01L31/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括蓝宝石衬底；在衬底上制作矩形敏感元和补偿元，补偿元在敏感元任一侧，敏感元剖面呈倒凹形，与衬底之间有空气夹层，补偿元直接制作在衬底上；敏感元与补偿元矩形短边的内外两侧各制作电极端；敏感元与补偿元之间临近的电极连通形成公共电极，作为信号引出端。该结构使得热敏探测器的响应率大大提高；“亮”补偿元的设计不仅满足了对环境温度波动的补偿，而且有效降低了工艺制作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 补偿 支撑 热敏 薄膜 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种具有“亮”补偿元件的锰钴镍氧热敏单元红外探测器，包括：蓝宝石衬底(1)，敏感元(2)和补偿元(3)；其特征在于：所述的探测器的结构为：在衬底(1)上有敏感元(2)和补偿元(3)，敏感元(2)的剖面形状为倒“凹”形，与衬底(1)之间形成空气夹层(4)；敏感元电极(5)位于矩形敏感元(2)两短边末端，补偿元电极(6)位于矩形补偿元(3)两短边末端，敏感元电极(5)与补偿元电极(6)相邻的电极连接在一起形成公共电极；所述的敏感元(2)与补偿元(3)采用锰钴镍氧薄膜热敏材料，薄膜厚度从2μm到10μm；所述的空气夹层(4)的厚度为1μm到5μm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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