[实用新型]荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台有效
| 申请号: | 201621112970.1 | 申请日: | 2016-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN206193030U | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
| 发明(设计)人: | 李琰琪;王栩生;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号: | G01Q30/18 | 分类号: | G01Q30/18;H01J37/28 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
| 地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台,荷电引导件包括用于引走样品的表面的电荷的金丝部,所述金丝部包括多根间隔或交错设置的金丝,多根所述金丝之间设置有用于观察所述样品的观察间隙;测试时,将所述金丝部放置于所述样品的表面,可以直接通过金丝部引走样品的表面的电荷,操作方便。荷电引导件可以重复利用,通用性强,成本低,且对样品的表面没有影响,通过观察间隙观察不会遮挡样品,测试方便。 | ||
| 搜索关键词: | 引导 用于 电子显微镜 测试 平台 | ||
【主权项】:
一种荷电引导件,其特征在于,包括用于引走样品的表面的电荷的金丝部(1),所述金丝部(1)包括多根间隔或交错设置的金丝(11),多根所述金丝(11)之间设置有用于观察所述样品的观察间隙(12);测试时,将所述金丝部(1)放置于所述样品的表面,以引走样品的表面的电荷。
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