[实用新型]真空镀膜室有效
| 申请号： | 201621107634.8 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN206015078U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 郭书周 | 申请（专利权）人： | 北京帕托真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 100096 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜室，包括真空腔室，所述真空腔室的底板处安装有可替换法兰，所述可替换法兰安装有有机源安装孔、无机源安装孔、蒸发源挡板和分子泵安装孔。所述可替换法兰设置有中心安装螺钉，用于安装真空设备和零件。本实用新型实现了各种真空腔室的替换，操作方便，维修简单，因为腔室不变，只是可替换法兰做了改变，这样就缩短了腔室的加工周期。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜室，其特征在于：包括真空腔室，所述真空腔室的底板处安装有可替换法兰，所述可替换法兰安装有有机源安装孔、无机源安装孔、蒸发源挡板和分子泵安装孔。
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