[实用新型]镀膜组分纯净的光学用真空腔体

摘要

本实用新型公开了一种镀膜组分纯净的光学用真空腔体，包括真空腔体本体，在位于真空腔体本体的用于置放蒸发源的底部的正上方设有铰接在真空腔体本体上部的挡盖，挡盖下设置由记忆合金材料制成的弹簧。本实用新型采用记忆合金制成的弹簧配合机械延时开关，能够在只达到蒸发物的蒸发温度时才打开用于阻挡杂质的挡盖，这样避免了在镀膜之前的加热过程中有杂质被蒸发至靶材的情况，提高了镀膜质量，不会出现薄膜厚度不均、组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等缺点；并且将丝杠倾斜设置，使得延时开关在打开弹性锁扣动作时具备水平方向的分力，更易打开盒盖；在腔体底部设置蒸发源的隔热层以使供热集中，能节省能源。

主权项

镀膜组分纯净的光学用真空腔体，其特征在于，包括真空腔体本体，在位于真空腔体本体的用于置放蒸发源的底部的正上方设有铰接在真空腔体本体上部的挡盖，挡盖下设置由记忆合金材料制成的弹簧，真空腔体本体的底部包括用于置放蒸发源的台阶，台阶内壁设置将蒸发源的底部和侧面包裹的隔热材料层；所述弹簧采用变态温度为40℃的NiTi记忆合金材料，弹簧的一端固定在机械延时开关的中空转筒的侧壁上，弹簧的另一端固定连接阻挡板，阻挡板抵靠在真空腔体本体侧壁的凸块上；机械延时开关包括一个丝杠螺母机构、与丝杠固定连接的中空转筒、绕设在中空转筒上的扭簧及中空转筒上固定设置的弹簧，中空转筒的侧面上位于底部位置设置弹簧，扭簧的一端固定在中空转筒的底部，扭簧的另一端固定连接在真空腔体本体的侧壁上，绕设在中空转筒上的扭簧处于被拉伸的状态；中空转筒的前端与丝杠固定连接，中空转筒的中心对称轴与丝杠的中心对称轴共线且为倾斜布置，丝杠的另一端即丝杠的前端距离挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣一段距离，丝杠上的螺母的外侧面与真空腔体本体的侧壁上的连接杆固定相连，连接杆与真空腔体本体一体成型；挡盖开合盒子包括盒盖、盒体和第二弹簧，盒体为顶部开口的带底圆筒形，盒盖为带弹性锁扣的圆盘，圆盘的顶部的侧面固定连接弹性锁扣，圆盘的直径与盒体的内壁的直径相同，第二弹簧的一端固定连接在盒体的底部的内壁上，第二弹簧的另一端固定连接圆盘的下底面，盒体的高度满足盒盖的上表面处于盒体的顶端时第二弹簧处于被压紧的状态，弹性锁扣采用弹性塑料材质制成，形状为碗形，盒体的上部的外表面上还设有和弹性锁扣匹配的凸起。