[实用新型]用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源有效
| 申请号： | 201621107078.4 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN206015081U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 郭书周 | 申请（专利权）人： | 北京帕托真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 100096 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源，从上到下依次包括蒸发源挡板、保温盖板、保温隔绝炉体、上支板、下支板、支撑柱、安装法兰、旋转磁流体、摆动气缸，所述安装法兰还连接有穿线斜管，所述穿线斜管与玻璃烧结接头相连接，所述保温隔绝炉体内设置有支撑芯和加热陶瓷管，所述加热陶瓷管内设置有石英坩埚，所述保温隔绝炉体的蒸发源口周围设置有不锈钢挡片。由此可见，本实用新型的新型有机蒸发源大大改善了传统有机蒸发源的不足，尤其是加热保温，角度可调，高度可调，温度可控，结构紧凑，高适应性，经济实用等众多优点是本实用新型的亮点之处。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电阻 加热 蒸发 镀膜 有机 | ||
【主权项】：
一种用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源，其特征在于：从上到下依次包括蒸发源挡板、保温盖板、保温隔绝炉体、上支板、下支板、支撑柱、安装法兰、旋转磁流体、摆动气缸，所述安装法兰还连接有穿线斜管，所述穿线斜管与玻璃烧结接头相连接，所述保温隔绝炉体内设置有支撑芯和加热陶瓷管，所述加热陶瓷管内设置有石英坩埚，所述保温隔绝炉体的蒸发源口周围设置有不锈钢挡片。
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