[实用新型]一种纳米SiO2气凝胶的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米SiO2气凝胶的制备装置，包括依次连接的层流等离子体发生装置、汽化装置、冷凝装置和静电吸附成型装置，所述层流等离子体发生装置，包括依次连接的气路结构、发生器（1）和电弧通道结构（2）；所述气路结构包括依次连接的气体输入管（3）、气体混合腔（4）和气体输出管（5）；所述气体输出管（5）与所述发生器（1）的中心轴线重合。本实用新型实现了专用于等离子束蒸‑凝法制备纳米SiO2气凝胶的目的，使得采用等离子束蒸‑凝法制备纳米SiO2气凝胶能够连续化生产，一步到位。

主权项

一种纳米SiO2气凝胶的制备装置，其特征在于：包括依次连接的层流等离子体发生装置、汽化装置、冷凝装置（9）和静电吸附成型装置；所述层流等离子体发生装置，包括依次连接的气路结构、发生器（1）和电弧通道结构（2）；所述气路结构包括依次连接的气体输入管（3）、气体混合腔（4）和气体输出管（5）；所述气体输出管（5）与所述发生器（1）的中心轴线重合；所述发生器（1）包括阳极结构（6）和阴极结构（7），以及设置在阳极结构（6）底座内部的功率调节器（8）；所述阳极结构（6）包括阳极柱、阳极帽以及在阳极帽内依次安装的密封绝缘垫片、螺旋导电弹簧和阳极喷嘴；所述阴极结构（7）包括阴极柱和阴极罩；所述阳极结构（6）位于中心，沿阳极结构（6）周围环形等距离设置至少三个阴极结构（7）；所述电弧通道结构（2）为双层结构，内层和双层结构中均充满真空；所述汽化装置包括送粉器和汽化池（13），所述送粉器的送粉管（18）通入汽化池（13）；所述层流等离子体发生装置和汽化池（13）连接；送粉器和层流等离子体发生装置位于同一轴心线上；所述汽化池（13）底部设置有具有吸力的通管（14），通管（14）与送粉管（18）连接；所述静电吸附成型装置包括成型箱（24）、基板（25）、粒子输入端（26）、粒子分散机构（27）、高压发生器（31）、静电发生器（32）、基板轨道（28）、基板进端轨道（29）和基板出端轨道（30）；所述基板进端轨道（29）、基板轨道（28）和基板出端轨道（30）依次连接，且基板轨道（28）位于成型箱（24）内部；所述基板（25）位于基板轨道（28）上，所述粒子分散机构（27）与基板（25）相对设置，所述粒子输入端（26）与粒子分散机构（27）连接。