[实用新型]一种制备纳米SiO2气凝胶的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备纳米SiO2气凝胶的装置，包括层流等离子体发生器、冷凝装置和静电吸附装置。层流等离子体发生器包括电弧通道，电弧通道连接反应室，反应室上连接微量给粉器；所述反应室通过分配管连接静电吸附装置；静电吸附装置包括静电发生器和基板；所述反应室内部横向设置有滑动机构，基板放置在滑动机构上。等离子体发生器设置有功率调节器，来调节发生器的功率，从而调节层流等离子射束的长短。微量给粉器将纳米SiO2粒子处理后送入反应室内，在反应室内通过层流等离子体发生器产生的层流等离子体射束对纳米SiO2粒子蒸发、汽化，再通过冷凝装置进行冷凝，冷凝后的纳米SiO2粒子通过分配管送入静电吸附装置成型。

主权项

一种制备纳米SiO2气凝胶的装置,其特征在于：包括依次连接的层流等离子体发生器、冷凝装置（2）和静电吸附装置（3）；所述层流等离子体发生器包括依次连接的气路结构、发生器和电弧通道（6），所述气路结构包括依次连接的气体输入管（7）、气体混合腔（8）和气体输出管（9）；所述气体输出管（9）与所述发生器的中心轴线重合；所述发生器包括阳极结构（10）和阴极结构（11），以及设置在阳极结构（10）底座内部的功率调节器（12）；所述阳极结构（10）位于中心，沿阳极结构（10）周围环形等距离设置阴极结构（11）；所述电弧通道（6）连接反应室（13），反应室（13）上连接微量给粉器（14），所述冷凝装置（2）设置在反应室（13）外部；所述反应室（13）通过分配管（15）连接静电吸附装置（3）；静电吸附装置（3）包括静电发生器和基板；所述反应室（13）内部横向设置有滑动机构（18），基板放置在滑动机构（18）上。