[实用新型]气体采集装置有效
| 申请号： | 201621079979.7 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN206057042U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 潘军花;陈蓉 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24;B01D53/26;B01D53/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体采集装置，其包括采样泵、吸收装置、用于连接采样泵与吸收装置的连接装置，所述连接装置包括一管状干燥过滤装置，所述管状干燥过滤装置包括管状外壳以及填充于所述管状外壳内的干燥过滤材料。本实用新型因为管状干燥过滤装置的存在，将进入采样泵的气体进行了干燥、过滤，解决了采样泵因水分子进入，造成电路板失效的问题，大大提高了采样泵寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 采集 装置 | ||
【主权项】：
一种气体采集装置，其包括采样泵、吸收装置、用于连接采样泵与吸收装置的连接装置，其特征在于，所述连接装置包括一管状干燥过滤装置，所述管状干燥过滤装置包括管状外壳以及填充于所述管状外壳内的干燥过滤材料。
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