[实用新型]薄膜厚度的检测装置有效
| 申请号： | 201621077692.0 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN206095140U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;宋荣鑫 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G07D7/164 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,吴贵明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜厚度的检测装置。该检测装置包括公共电极部，包括至少一个ITO电极，各ITO电极包括至少一个ITO层；检测电极部，与公共电极部在第一方向上间隔设置，且检测电极部与公共电极部在第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，检测电极部包括至少一个检测电极，第一方向垂直于待测膜的移动方向且平行于各ITO层的厚度方向；检测电路，与检测电极部电连接，用于对检测电极部检测到的电信号转换为待测膜的厚度信息。该检测装置的制备成本低，制备周期短，更适合产业化，且能够广泛地应用在各个领域。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜厚度的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共电极部(12)，包括至少一个ITO电极(121)，各所述ITO电极(121)包括至少一个ITO层；检测电极部(22)，与所述公共电极部(12)在第一方向上间隔设置，且所述检测电极部(22)与公共电极部(12)在所述第一方向上的间隔形成待测膜的检测通道，所述检测电极部(22)包括至少一个检测电极(221)，所述第一方向垂直于所述待测膜的移动方向且平行于各所述ITO层的厚度方向；以及检测电路(23)，与所述检测电极部(22)电连接，用于对所述检测电极部(22)检测到的电信号转换为所述待测膜的厚度信息。
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