[实用新型]一种带有定位销的石墨坩埚有效
申请号: | 201621061366.0 | 申请日: | 2016-09-19 |
公开(公告)号: | CN206173478U | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 朱灿;李加林;李长进 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 赵斌;苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于碳化硅生产设备领域,具体涉及一种带有定位销的石墨坩埚,采用这种结构的坩埚可对坩埚实施加速坩埚旋转技术,防止上保温、上端盖和坩埚在旋转过程中发生相对滑动,防止造成上保温的损坏,解除了对碳化硅生长带来的隐患,提高生产效率和质量,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 定位 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种带有定位销的石墨坩埚,其特征在于:包括上保温(1)、上端盖(2)和坩埚(3),在上保温(1)、上端盖(2)和坩埚(3)设置有彼此联通的定位孔(5),在定位孔(5)内安装有定位销(4);所述定位销(4)为内侧金属棒外侧涂有石墨的夹芯棒;所述上保温(1)、上端盖(2)和坩埚(3)通过定位销(4)固定在一起。
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