[实用新型]一种半导体生产过程中用的切片装置有效
申请号: | 201621045438.2 | 申请日: | 2016-09-09 |
公开(公告)号: | CN206048552U | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 卓廷厚 | 申请(专利权)人: | 厦门芯光润泽科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体生产过程中用的切片装置,包括支撑杆、主轴、传送装置、送料出口、LED灯、储料室、集尘室、电动机、除尘装置、导流室和操作箱,所述支撑杆的顶端固定有主轴,且主轴的表层镶嵌有传送装置,所述固定装置的顶端安装有LED灯,所述储料室和送料出口相连接,且储料室的右侧固定有集尘室,所述集尘室的右侧安装有电动机,且电动机的底端设置有除尘装置,所述固定装置的右侧安装有操作箱。该半导体生产过程中用的切片装置结构简单新颖,在其切割刀片的外壁镶嵌有温度传感装置,能够实时的检测到在对半导体切割时产生的温度,在其储料室的底端连接有送料出口,能够自由的控制送料的频率,大大提高了切片的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 生产过程 中用 切片 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体生产过程中用的切片装置,包括支撑杆(1)、主轴(2)、传送装置(3)、固定装置(4)、切割刀片(5)、温度传感装置(6)、送料出口(7)、LED灯(8)、储料室(9)、集尘室(10)、电动机(11)、除尘装置(12)、导流室(13)和操作箱(14),其特征在于:所述支撑杆(1)的顶端固定有主轴(2),且主轴(2)的表层镶嵌有传送装置(3),所述传送装置(3)的顶侧安装有固定装置(4),且固定装置(4)的内侧设置有切割刀片(5),所述切割刀片(5)的外壁连接有温度传感装置(6),所述固定装置(4)的顶端安装有LED灯(8),且LED灯(8)的顶端安置有储料室(9),所述储料室(9)和送料出口(7)相连接,且储料室(9)的右侧固定有集尘室(10),所述集尘室(10)的右侧安装有电动机(11),且电动机(11)的底端设置有除尘装置(12),所述固定装置(4)的右侧安装有操作箱(14)。
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