[实用新型]一种激光干涉仪的光路调校装置

摘要

本实用新型公开了一种激光干涉仪的光路调校装置，包括测试光路和成像光路，测试光路中激光器S1发出的激光通过空间滤波器Q1，再经过偏振分光棱镜P1转折90度后通过其上方的1/4波片P3，再经过95/5分光镜P2转折90度后通过准直物镜Q2到达平面镜M4；成像光路包括平面镜M4，所平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧，被反射回的激光沿水平返回，经过95/5分光镜P2转折90度后通过1/4波片P3，再经过所述偏振分光棱镜P1，然后通过反射镜M1和反射镜M2转折经过中继镜Q3，再经过反射镜M3转折到变焦镜头Q4，最终干涉激光成像在CCD相机S2上。

主权项

一种激光干涉仪的光路调校装置，其特征在于：包括测试光路和成像光路，所述测试光路为激光器S1发出的激光依次经过位于激光器S1前端的空间滤波器Q1、偏振分光棱镜P1、位于偏振分光棱镜P1上方的1/4波片P3、位于1/4波片P3上方的95/5分光镜P2，最后穿过准直物镜Q2到达平面镜M4；95/5分光镜P2与入射光线的夹角呈45度设置；所述成像光路为被平面镜M4反射的激光，平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧，被反射的激光沿水平返回，依次经过准直物镜Q2、95/5分光镜P2、1/4波片P3、偏振分光棱镜P1、反射镜M1、反射镜M2、中继镜Q3、反射镜M3以及变焦镜头Q4，最终到达CCD相机S2上成像；在平面镜M4反射面的反面水平光路处放置剪切板W1和角锥棱镜W2；在空间滤波器Q1和偏振分光棱镜P1之间的水平轴线上设置小孔光栏F1；在95/5分光镜P2和准直物镜Q2之间的水平轴线上分别设置小孔光栏F5和小孔光栏F6；在95/5分光镜P2和1/4波片P3之间的垂直光路上设置小孔光栏F3；在反射镜M1垂直入射光路后方设置小孔光栏F8；在95/5分光镜P2水平透射光路的后方设置小孔光栏F7；在反射镜M1反射的水平光路后端设置小孔光栏F9；在反射镜M2的上端垂直反射光路上设置小孔光栏F10；在反射镜M3左侧水平反射光路上设置小孔光栏F12。