[实用新型]一种压力传感器的弹性元件

摘要

本实用新型公开了一种压力传感器的弹性元件，该弹性元件包括本体，本体为圆柱体，本体的一底面上设有凹槽，凹槽位于底面的中心位置，凹槽为圆柱形，凹槽用来放置压敏芯片，本体的侧面上设有一圈凸出结构，凸出结构位于靠近凹槽底面的一端，凸出结构与本体一体成型。本实用新型以凸出结构的正面作为支撑点，可以方便地批量对弹性元件膜片表面研磨与抛光，使得达到微电子加工所需要的平面度和粗糙度；以凸出结构的正面为支撑点，可以方便地批量对弹性元件做疲劳冲击工艺；以凸出结构的反面为支撑点，可以方便地辅助光刻工艺的定位；凸出结构有利于在激光焊接时将高温热量有效地传导到空气中，从而达到保护压敏芯片层面的目的。

主权项

一种压力传感器的弹性元件，其特征在于，该弹性元件包括本体，所述本体为圆柱体，所述本体的一底面上设有凹槽，所述凹槽位于底面的中心位置，所述凹槽为圆柱形，所述本体的侧面上设有一圈凸出结构，所述凸出结构位于靠近凹槽底面的一端，所述凸出结构与本体一体成型。