[实用新型]扩散炉的炉门结构

摘要

本实用新型提供了一种扩散炉的炉门结构，属于半导体制造技术领域。它解决了现有技术中的密封效果差、操作费力的问题。本扩散炉的炉门结构，扩散炉包括内部具有炉腔的炉体，炉体外侧壁上开设有与炉腔相连通的开口，开口呈圆形，炉门结构包括炉门、导轨一和导轨二，导轨一方向与重力方向相同，炉门一端为小端，炉门另一端为大端，在导轨一和导轨二之间设置有滑块，在滑块上朝向炉体的一侧面上固有第一气缸，第一气缸的缸体固定在滑块上，第一气缸的活塞杆朝向炉体，第一气缸的活塞杆端部与大端相固连；在炉体上部处固有第二气缸，第二气缸的活塞杆竖直向下，第二气缸的活塞杆的端部与滑块相固定。本实用新型具有密封效果好、操作更加省力的优点。

主权项

扩散炉的炉门结构，扩散炉包括内部具有炉腔的炉体，炉体外侧壁上开设有与炉腔相连通的开口，所述的开口呈圆形，其特征在于，本炉门结构包括炉门、导轨一和导轨二，所述导轨一和导轨二平行设置，导轨一的布置方向与重力方向相同，导轨二的布置方向与重力方向相同，导轨一和炉体之间具有间隙一，导轨一通过支架一固定在炉体上，导轨二和炉体之间具有间隙二，导轨二通过支架二固定在炉体上，间隙一等于间隙二，所述的炉门呈圆台状，炉门一端为小端，炉门另一端为大端，小端的外径小于开口的口径，大端的外径大于开口的口径，在导轨一和导轨二之间设置有滑块，在滑块上朝向炉体的一侧面上固定有第一气缸，第一气缸的缸体固定在滑块上，第一气缸的活塞杆朝向炉体，第一气缸的活塞杆端部与炉门的大端相固连；在炉体上部处还固定有第二气缸，第二气缸的活塞杆竖直向下，第二气缸的活塞杆的端部与所述的滑块相固定。