[实用新型]一种斜插式单晶硅棒自动支撑机构

摘要

本实用新型涉及单晶硅制备辅助设备，旨在提供一种斜插式单晶硅棒自动支撑机构。该种斜插式单晶硅棒自动支撑机构包括支撑装置、传动装置、密封装置，支撑装置包括底座、气缸支架，气缸支架安装在底座上，底座上设有两个对称的楔形块滑道，用于支撑楔形块，传动装置用于作为动力源，密封装置用于保护气缸。本实用新型利用楔形块实现自锁功能，支撑牢固可靠，结构简单，零部件易于更换，成本低，同时操作可实现自动化，大大降低了人力资源成本和工人的劳动强度，缩短硅棒支撑所需的时间，提升硅棒的切割效率。

主权项

一种斜插式单晶硅棒自动支撑机构，包括支撑装置、传动装置、密封装置，其特征在于，所述支撑装置包括底座、气缸支架，底座的两侧设有螺纹孔，气缸支架设有两个，分别利用螺纹孔安装在底座上；底座上设有两个对称的楔形块滑道，用于支撑楔形块；底座上还设有四个槽型孔，用于方便斜插式单晶硅棒自动支撑机构与硅棒的位置对中；所述传动装置包括气缸、浮动接头、楔形块；气缸设有两个，用于作为动力源，分别用螺钉对称安装在底座两侧的气缸支架上；楔形块设有两个，分别设置在对应的楔形块滑道内，并利用浮动接头与对应的气缸连接，使楔形块能在底座的楔形块滑道里随着气缸的伸缩而运动，从而实现对晶棒的夹紧与松开动作；且当气缸处于伸长状态时，楔形块与晶棒接触达到平衡位置，保持通气不使气缸杆后退，楔形块也不会后退，即能实现楔形块在支撑硅棒时自锁；所述密封装置包括气缸杆风琴护罩、气缸钣金护罩、不锈钢喉箍；气缸杆风琴护罩设有两个，两个气缸杆风琴护罩的一端分别通过不锈钢喉箍固定在对应的浮动接头上，另一端分别通过法兰固定在对应的气缸支架上；气缸钣金护罩包括上盖板和下盖板，上下两盖板通过螺钉连接，且上盖板和下盖板之间留有一个矩形槽道，用于方便气缸气管路的连接；气缸钣金护罩设有两个，分别安装在对应的气缸支架上，用于保护气缸。