[实用新型]一种离子源的电源系统及离子源有效
| 申请号： | 201621020418.X | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206059341U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刁克明 | 申请（专利权）人： | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人： | 周娇娇,谭辉 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子源的电源系统及离子源，所述电源系统包括阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源；以及检测单元，与所述阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源连接，用于获取各个电源的电压或电流信号反馈值；电源控制器，用于接收所述检测单元获取的电压或电流信号反馈值，并发送控制信号给各个电源。本实用新型根据反馈的各路电源电压或电流信号，对各路电源进行调节，克服了现有离子源各路电源独立工作、手动调整的缺陷，能够使离子束自动调谐至最佳传送状态，从而保证离子源系统稳定、可靠、高效运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 电源 系统 | ||
【主权项】：
一种离子源的电源系统，所述电源系统包括：阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源；其特征在于，所述电源系统还包括：检测单元，与所述阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源连接，用于获取各个电源的电压或电流信号反馈值；电源控制器，与所述检测单元以及阴极电源、弧极电源、屏栅电源、加速电源、中和电源和耦合电源连接，用于接收所述检测单元获取的电压或电流信号反馈值，并发送控制信号给各个电源。
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