[实用新型]一种高真空扩散泵循环水套装置有效
| 申请号： | 201621003847.6 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206111697U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 张永杰;郑云萍;王全喜;孙虎林;韩凌江;程一民;程一军 | 申请（专利权）人： | 山西卓锋钛业有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00 |
| 代理公司： | 太原同圆知识产权代理事务所(特殊普通合伙)14107 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 043000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。采用该实用新型设计后，循环水流量增大，扩散泵外部可以得到整体冷却，设备冷却效果好，能保证较高的真空度，大大提高了产品质量，缩短了生产周期，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 扩散 循环 装置 | ||
【主权项】：
一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，其特征在于，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。
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